参数：

2.1.测量参数（μm）:Ra、Rz、Rq、Rt

2.测量范围（μm）:Ra、 Rq： 0.05 ~ 10.0;Rz、 Rt： 0.1 ~ 50

3.取样长度（mm）:0.25 ， 0.80 ， 2.50

4.评定长度（mm）:1.25 ， 4.0 ， 5.0

5.行程长度（mm）:6

6.示值精度:0.01

7.示值误差:±（7-10）%

8.示值变动性:＜12%

9.传感器触针针尖圆弧半径及角度:针尖圆弧半径：10 μm±1 μm

10.传感器触针静测力及其变化率:触针静测力：≤ 0.016N   测力变化率：≤ 800N/m

11.传感器导头压力:≤ 0.5N

12.电池:3.7V锂离子电池

13.外形尺寸:106 mm×70 mm×24 mm

14.重量:200g

15.工作环境条件:温 度： -20℃～40℃ 相对湿度：<  90%    <>周围无振动、无腐蚀性介质<  90%    <><  90%    <>