技术参数

最大行程: 25mm

滤波器: 高斯(Gaussian)滤波器（ISO11562:1996）Rc滤波器

截止波长: 0.25，0.8，2.5

测量重复性: 4%

相对示值误差: ±7%

测量长度: λc ╳3、4、5、6、7

测量范围: 640μm

分辨率 ： 0.001μm

测量速度： 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

返回速度： 1mm/s（自动）

测量方式：传感器移动式

测量参数：

Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk 、Wp、Wv